ECHUCK静电吸盘
Category：
ECHUCK静电吸盘
Keywords：
ECHUCK静电吸盘
详情介绍
Echuck是半导体制造业等离子腔室中重要的核心部件(ETCH，CVD，IMP设备)，是晶圆的专用夹持工具,在高电压(5000V)和强腐蚀性环境下工作,要求耐磨耐蚀,并且不能发生弧光放电。该部件是半导体 Etch 工艺中最关键,技术门槛最高,单价最高的耗材。
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Echuck是半导体制造业等离子腔室中重要的核心部件(ETCH，CVD，IMP设备)，是晶圆的专用夹持工具,在高电压(5000V)和强腐蚀性环境下工作,要求耐磨耐蚀,并且不能发生弧光放电。该部件是半导体 Etch 工艺中最关键,技术门槛最高,单价最高的耗材。