高真空快慢双速角阀
源和半导体拥有完全自主知识产权的高真空快慢双速角阀,高真空快慢双速角阀是一种特殊类型的真空阀门，主要用于真空系统中，以改变气流方向并调节气流量大小,具有快速和慢速两种操作模式，可以根据实际需求进行灵活调整,以适应不同的真空处理过程,因其独特的功能和广泛的应用场景,在真空技术领域中扮演着重要角色。
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高真空快慢双速角阀
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高真空快慢双速角阀
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源和半导体拥有完全自主知识产权的高真空快慢双速角阀,高真空快慢双速角阀是一种特殊类型的真空阀门，主要用于真空系统中，以改变气流方向并调节气流量大小,具有快速和慢速两种操作模式，可以根据实际需求进行灵活调整,以适应不同的真空处理过程,因其独特的功能和广泛的应用场景,在真空技术领域中扮演着重要角色。
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序号 |
内容 |
参数 |
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1 |
尺寸 |
KF40 |
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2 |
使用环境压力 |
1.0×10⁵~10-6 Pa |
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3 |
驱动压力 |
0.5~0.6 Mpa |
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4 |
最大动作压差 |
2 bar |
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5 |
泄漏率 |
1.3×10-9mbar ·L/s |
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6 |
使用温度 |
0-50℃ |
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7 |
动作时间 |
0.2s |
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8 |
寿命 |
≥50万次 |