门阀
源和半导体拥有完全自主知识产权的高真空直动式传输门阀，适用于装载锁和真空工艺室隔离,广泛应用于真空镀膜设备、光电产业及其他集群真空系统。密封装置具有快速启闭、较高的重复运行寿命以及高气密性等优点，在隔绝和连通各真空腔室时起到关键性作用。
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源和半导体拥有完全自主知识产权的高真空直动式传输门阀，适用于装载锁和真空工艺室隔离,广泛应用于真空镀膜设备、光电产业及其他集群真空系统。密封装置具有快速启闭、较高的重复运行寿命以及高气密性等优点，在隔绝和连通各真空腔室时起到关键性作用。
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序号 |
内容 |
参数 |
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1 |
尺寸 |
8/12寸 |
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2 |
使用环境压力 |
1.0×10⁵~10-6 Pa |
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3 |
驱动压力 |
0.5~0.6 Mpa |
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4 |
动作压差 |
<4 kPa |
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5 |
泄漏率(阀板) |
1.3×10-9mbar·L/s |
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6 |
使用温度 |
阀板5~120℃/驱动部60℃ |
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7 |
动作时间 |
0.6~1s |
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8 |
寿命 |
≥100万次 |