APC高速控压蝶阀
源和半导体拥有完全自主知识产权的APC高速控压蝶阀，是一种集压力控制、运动结构、密封于一体的高真空阀门,其主要作用是通过自适应算法调整阀板的角度来控制、调节和隔离真空系统的气体流速和流量,从而实现真空设备在不同制程或工艺过程中气体流动和真空压力的精确调节和控制。
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APC高速控压蝶阀
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源和半导体拥有完全自主知识产权的APC高速控压蝶阀，是一种集压力控制、运动结构、密封于一体的高真空阀门,其主要作用是通过自适应算法调整阀板的角度来控制、调节和隔离真空系统的气体流速和流量,从而实现真空设备在不同制程或工艺过程中气体流动和真空压力的精确调节和控制。
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序号 |
内容 |
参数 |
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1 |
尺寸 |
DN40-160 |
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2 |
使用环境压力 |
1.0×10⁵~10-6 Pa |
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3 |
泄漏率(阀板) |
1.3×10-9mbar ·L/s |
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4 |
阀体材料 |
316L |
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5 |
阀体流导量 |
40-3800ls-1 |
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6 |
可控流导量 |
0.15-1.7ls-1 |
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7 |
工作温度 |
10~+150℃ |
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8 |
寿命 |
≥100万次 |