源和半导体拥有完全自主知识产权的高真空直动式传输门阀,适用于装载锁和真空工艺室隔离,广泛应用于真空镀膜设备、光电产业及其他集群真空系统。密封装置具有快速启闭、较高的重复运行寿命以及高气密性等优点,在隔绝和连通各真空腔室时起到关键性作用。

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