门阀
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泸州门阀

源和半导体拥有完全自主知识产权的高真空直动式传输门阀，适用于装载锁和真空工艺室隔离,广泛应用于真空镀膜设备、光电产业及其他集群真空系统。密封装置具有快速启闭、较高的重复运行寿命以及高气密性等优点，在隔绝和连通各真空腔室时起到关键性作用。

类别：

泸州门阀

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产品描述

源和半导体拥有完全自主知识产权的高真空直动式传输门阀，适用于装载锁和真空工艺室隔离,广泛应用于真空镀膜设备、光电产业及其他集群真空系统。密封装置具有快速启闭、较高的重复运行寿命以及高气密性等优点，在隔绝和连通各真空腔室时起到关键性作用。

 

序号

内容

参数

1

尺寸

8/12寸

2

使用环境压力

1.0×10⁵~10-6  Pa

3

驱动压力

0.5~0.6 Mpa

4

动作压差

<4 kPa

5

泄漏率(阀板)

1.3×10-9mbar·L/s

6

使用温度

阀板5~120℃/驱动部60℃

7

动作时间

0.6~1s

8

寿命

≥100万次

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