源和半导体自主设计和打造的工业通用12英寸品圆自动传输团簇T9平台,洁净等级达到IS0 class1,符合先进制程工艺需求,完全替代国外同类品，多层精密镀膜一次成型,进而提高客户需求镀膜反应的效率与批次之间的重复性。
原磊的 T200 / 300 型真空传输系列产品在严苛的设计标准和制造环境下诞生， 确保设备在 Fab 中运行的高稳定性和高洁净度。其模块化的设计不仅缩小了占 地面积，提升了扩展性，而且使快速应对各种布局需求成为了可能。
源和半导体的T10型真空传输系列产品在严苛的设计标准和制造环境下诞生,确保设备在Fab中运行的高稳定性和高洁净度。其模块化的设计不仅缩小了占地面积,提升了扩展性,而且使快速应对各种布局需求成为了可能。
原磊自主设计和打造的工业通用12英寸晶圆自动传输团簇T9平台，洁净等级达 到ISO class1，符合先进制程工艺需求，完全替代国外同类产品，多层精密镀膜 一次成型，进而提高客户需求镀膜反应的效率与批次之间的重复性。