真空传输系统
真空传输系统

昭通真空传输系统

原磊的 T200 / 300 型真空传输系列产品在严苛的设计标准和制造环境下诞生， 确保设备在 Fab 中运行的高稳定性和高洁净度。其模块化的设计不仅缩小了占 地面积，提升了扩展性，而且使快速应对各种布局需求成为了可能。

类别：

昭通真空传输系统

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产品描述

原磊的 T200 / 300 型真空传输系列产品在严苛的设计标准和制造环境下诞生， 确保设备在 Fab 中运行的高稳定性和高洁净度。其模块化的设计不仅缩小了占 地面积，提升了扩展性，而且使快速应对各种布局需求成为了可能。

 

序号

内容

参数

1

晶圆尺寸

200/300mm

2

最高温度

380℃

3

预真空腔

25pc×2

4

最大PM数量

4

5

同时冷却晶圆数

5pc×2

6

机械爪材料

陶瓷/其它

7

冷却方式

PN₂/水

8

AWC精度/范围

±0.01mm/6mm

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