乌兰浩特真空传输系统
原磊自主设计和打造的工业通用12英寸晶圆自动传输团簇T9平台，洁净等级达 到ISO class1，符合先进制程工艺需求，完全替代国外同类产品，多层精密镀膜 一次成型，进而提高客户需求镀膜反应的效率与批次之间的重复性。
类别：
产品描述
原磊自主设计和打造的工业通用12英寸晶圆自动传输团簇T9平台，洁净等级达 到ISO class1，符合先进制程工艺需求，完全替代国外同类产品，多层精密镀膜 一次成型，进而提高客户需求镀膜反应的效率与批次之间的重复性。
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序号 |
内容 |
参数 |
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1 |
晶圆尺寸 |
300mm |
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2 |
最高温度 |
380℃ |
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3 |
预真空腔 |
50pc×2 |
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4 |
最大PM数量 |
6 |
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5 |
洁净等级 |
ISO classl |
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6 |
PWP指标(金属污染) |
0.05@0.037um/(<E8/cm2) |
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7 |
Aligner |
配置Wafer aligner及AWC |
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8 |
硅片破片破损率 |
<=1/100000 |
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