衢州真空传输系统
原磊自主设计和打造的工业通用12英寸晶圆自动传输团簇T9平台，洁净等级达 到ISO class1，符合先进制程工艺需求，完全替代国外同类产品，多层精密镀膜 一次成型，进而提高客户需求镀膜反应的效率与批次之间的重复性。
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