克拉玛依真空传输系统
源和半导体的T10型真空传输系列产品在严苛的设计标准和制造环境下诞生,确保设备在Fab中运行的高稳定性和高洁净度。其模块化的设计不仅缩小了占地面积,提升了扩展性,而且使快速应对各种布局需求成为了可能。
类别：
产品描述
源和半导体的T10型真空传输系列产品在严苛的设计标准和制造环境下诞生,确保设备在Fab中运行的高稳定性和高洁净度。其模块化的设计不仅缩小了占地面积,提升了扩展性,而且使快速应对各种布局需求成为了可能。
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序号 |
内容 |
参数 |
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1 |
晶圆尺寸 |
200/300mm |
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2 |
最高温度 |
380℃ |
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3 |
预真空腔 |
25pc×2 |
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4 |
最大PM数量 |
10 |
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5 |
同时冷却晶圆数 |
5pc×2 |
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6 |
机械爪材料 |
陶瓷/其它 |
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7 |
冷却方式 |
PN₂/水 |
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8 |
AWC精度/范围 |
±0.01mm/6mm |
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