抚顺真空传输系统
源和半导体自主设计和打造的工业通用12英寸品圆自动传输团簇T9平台,洁净等级达到IS0 class1,符合先进制程工艺需求,完全替代国外同类品，多层精密镀膜一次成型,进而提高客户需求镀膜反应的效率与批次之间的重复性。
类别：
产品描述
源和半导体自主设计和打造的工业通用12英寸品圆自动传输团簇T9平台,洁净等级达到IS0 class1,符合先进制程工艺需求,完全替代国外同类品，多层精密镀膜一次成型,进而提高客户需求镀膜反应的效率与批次之间的重复性。
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序号 |
内容 |
参数 |
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1 |
晶圆尺寸 |
300mm |
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2 |
最高温度 |
380℃ |
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3 |
Aligner | 配置Waferaligner及AWC |
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4 |
真空度 |
≤10^(-9)pa*m3/s |
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5 |
洁净等级 |
ISO class1 |
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6 |
PWP指标(金属污染) |
0.05@0.037um/(<E8/cm2) |
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7 |
传送测试 | ≥5000 pcs cycle test without any errors |
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8 |
硅片破片破损率 |
≤1/100000 |