首页
关于我们
公司简介
企业文化
我们的优势
服务流程
管理保障
产品中心
门阀
高真空软抽角阀
APC控压蝶阀
MO 源瓶
高温红外卤素灯反射衬套
真空传输系统
其他产品和服务
新闻资讯
公司新闻
行业资讯
加工设备
车间展示
生产设备
联系我们
联系方式
在线留言
简体
类别：
大理真空传输系统
电话:400-888-8888
询价
产品描述
源和半导体的T10型真空传输系列产品在严苛的设计标准和制造环境下诞生,确保设备在Fab中运行的高稳定性和高洁净度。其模块化的设计不仅缩小了占地面积,提升了扩展性,而且使快速应对各种布局需求成为了可能。
序号
内容
参数
1
晶圆尺寸
200/300mm
2
最高温度
380℃
3
预真空腔
25pc×2
4
最大PM数量
10
5
同时冷却晶圆数
5pc×2
6
机械爪材料
陶瓷/其它
7
冷却方式
PN₂/水
8
AWC精度/范围
±0.01mm/6mm
上一条
下一条
