巴彦淖尔真空传输系统
原磊的 T200 / 300 型真空传输系列产品在严苛的设计标准和制造环境下诞生， 确保设备在 Fab 中运行的高稳定性和高洁净度。其模块化的设计不仅缩小了占 地面积，提升了扩展性，而且使快速应对各种布局需求成为了可能。
类别：
产品描述
原磊的 T200 / 300 型真空传输系列产品在严苛的设计标准和制造环境下诞生， 确保设备在 Fab 中运行的高稳定性和高洁净度。其模块化的设计不仅缩小了占 地面积，提升了扩展性，而且使快速应对各种布局需求成为了可能。
|
序号 |
内容 |
参数 |
|
1 |
晶圆尺寸 |
200/300mm |
|
2 |
最高温度 |
380℃ |
|
3 |
预真空腔 |
25pc×2 |
|
4 |
最大PM数量 |
4 |
|
5 |
同时冷却晶圆数 |
5pc×2 |
|
6 |
机械爪材料 |
陶瓷/其它 |
|
7 |
冷却方式 |
PN₂/水 |
|
8 |
AWC精度/范围 |
±0.01mm/6mm |
下一条