源和半导体拥有完全自主知识产权的高真空直动式传输门阀，适用于装载锁和真空工艺室隔离,广泛应用于真空镀膜设备、光电产业及其他集群真空系统。密封装置具有快速启闭、较高的重复运行寿命以及高气密性等优点，在隔绝和连通各真空腔室时起到关键性作用。
源和半导体拥有完全自主知识产权的高真空快慢双速角阀,高真空快慢双速角阀是一种特殊类型的真空阀门，主要用于真空系统中，以改变气流方向并调节气流量大小,具有快速和慢速两种操作模式，可以根据实际需求进行灵活调整,以适应不同的真空处理过程,因其独特的功能和广泛的应用场景,在真空技术领域中扮演着重要角色。
源和半导体拥有完全自主知识产权的APC高速控压蝶阀，是一种集压力控制、运动结构、密封于一体的高真空阀门,其主要作用是通过自适应算法调整阀板的角度来控制、调节和隔离真空系统的气体流速和流量,从而实现真空设备在不同制程或工艺过程中气体流动和真空压力的精确调节和控制。
针对不同的ALD工艺，原磊自主创新设计的ALD前驱体钢瓶，包括冷源钢瓶、热源钢瓶以及双口 热源钢瓶三种类型。这些钢瓶采用316L高纯不锈钢材质，容量范围广泛，从常规的100ml到600ml 不等。同时，我们还可根据客户需求定制大容量钢瓶，其密封性能卓越，漏率低至10-9 mbar·L/s， 可广泛应用于ALD真空镀膜设备中。